【摘 要】
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目的对微机电系统 (MEMS) 和微型惯性测量系统的国内外现状、国家政策进行介绍, 讨论微型惯性测量系统 (MIMS) 应用技术. 方法结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对
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目的对微机电系统 (MEMS) 和微型惯性测量系统的国内外现状、国家政策进行介绍, 讨论微型惯性测量系统 (MIMS) 应用技术. 方法结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对策, 在应用技术方面, 采用系统优化、设计专用集成电路并采用抗高过载方法. 结果与结论模块化集成方法能够满足部分需求, 已在我国一些重大型号上获得应用. 微型惯性测量系统是今后需要重点研究的微机电系统之一.
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