【摘 要】
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介绍了高温超导薄膜制备方法(如磁控溅射、脉冲激光淀积、电子束共蒸发、化学气相沉积等)研究的进展和现状.对薄膜生长中的一些技术,如外延生长高质量的薄膜对基片的要求、常用的
【机 构】
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中国科学院物理研究所超导国家重点实验室
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介绍了高温超导薄膜制备方法(如磁控溅射、脉冲激光淀积、电子束共蒸发、化学气相沉积等)研究的进展和现状.对薄膜生长中的一些技术,如外延生长高质量的薄膜对基片的要求、常用的基片、为了减小像硅和蓝宝石一类的重要基片与高温超导薄膜间的扩散以及改善晶格匹配所采用的缓冲层技术等也作了简要的介绍,还介绍了薄膜的微波性质和用高温超导薄膜制备的微淡无源器件.
The progress and current situation of research on preparation methods of high temperature superconducting thin films (such as magnetron sputtering, pulsed laser deposition, e-beam co-evaporation, chemical vapor deposition) are introduced. Some of the thin film growth techniques, such as the epitaxial growth of high quality thin film on the substrate requirements, commonly used substrate, in order to reduce the important substrate such as silicon and sapphire diffusion between the substrate and the high temperature superconducting thin film and improve the crystal The buffer layer technology used by the lattice matching also made a brief introduction, and also introduced the microwave properties of the film and the tiny passive devices prepared by the high temperature superconducting thin film.
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