WO3基臭氧敏感元件的研制

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 13次 | 上传用户:rogerfederersxt
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在三氧化钨粉体材料中加入金属氧化物,以恒温600℃烧结1小时制成傍热式厚膜O3气体敏感元件.采用静态电压测量法,研究了加入一定质量分数的Nb2O5、Fe2O3、Co3O4、TiO2、Sb2O3后元件的加热电压与电导率、元件灵敏度、60 s后回复几率的关系,讨论了掺杂成分和杂质的质量分数对材料的气敏性能和环境适应能力的影响.实验结果显示:2%TiO2-3%Nb2O5-WO3元件能开发成理想的O3敏感元件.
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