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半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司，宣布了一种新的氟化氩(ArF)准分子激光器——GT40A(发射波长193nm，重复率为4kHz)。这个新模型已经利用平板印刷工具在荷兰Veldhoven的ASML被综合测试和认证。
Gigaphoton为ASML平板印刷术提供新型准分子激光器
【摘 要】
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半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司，宣布了一种新的氟化氩(ArF)准分子激光器——GT40A(发射波长193nm，重复率为4kHz)。这个新模型已经利用平板印刷工具在荷兰Veldhoven的AS
【出 处】
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广东印刷
【发表日期】
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2005年3期
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