光电光杠杆测微小位移系统的设计与应用

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叙述了把激光与光敏三极管等器件应用于光杠杆测量微小位移系统中,提高其测量准确度的原理.介绍了研制的激光光杠杆系统测量微小位移量的方法及测量结果评定.
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