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光电光杠杆测微小位移系统的设计与应用
光电光杠杆测微小位移系统的设计与应用
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuyanmei
【摘 要】
:
叙述了把激光与光敏三极管等器件应用于光杠杆测量微小位移系统中,提高其测量准确度的原理.介绍了研制的激光光杠杆系统测量微小位移量的方法及测量结果评定.
【作 者】
:
张炳恒
宫铁波
【机 构】
:
廊坊师范学院物理系
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
2003年10期
【关键词】
:
光电光杠杆
激光
光敏三极管
微小位移测量系统
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叙述了把激光与光敏三极管等器件应用于光杠杆测量微小位移系统中,提高其测量准确度的原理.介绍了研制的激光光杠杆系统测量微小位移量的方法及测量结果评定.
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