【摘 要】
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为有效检测热障涂层的缺陷，研究基于平面电容传感器的缺陷检测系统。该文对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行分析，结合热障涂层的结构，利用COMSOL有限元仿真
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为有效检测热障涂层的缺陷，研究基于平面电容传感器的缺陷检测系统。该文对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行分析，结合热障涂层的结构，利用COMSOL有限元仿真软件对传感器结构进行优化设计，设计微小电容检测电路，并通过复导纳的方法提取检测信息，搭建热障涂层缺陷检测系统，并对系统的性能进行测试。实验测试中对3种不同厚度的氧化铝陶瓷片进行复导纳的检测，通过对检测结果进行数据分析更易区分不同厚度的陶瓷片，即基于平面电容传感器的缺陷检测系统可以有效检测出热障涂层的厚度变化缺陷。
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