【摘 要】
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以TiCl4-BCl3-H2为反应体系,采用化学气相沉积技术,在低碳钢和石墨表面成功沉积了TiB2 涂层,并研究了沉积温度、气体流量和基体类型对涂层显微结构和显微硬度的影响。 结果表
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以TiCl4-BCl3-H2为反应体系,采用化学气相沉积技术,在低碳钢和石墨表面成功沉积了TiB2 涂层,并研究了沉积温度、气体流量和基体类型对涂层显微结构和显微硬度的影响。 结果表明：沉积温度较高时,低碳钢表面的TiB2 涂层晶粒取向随机,结晶度较好,沉积温度较低时则呈柱状晶,晶粒取向随机时的显微硬度高于呈柱状晶时的显微硬度;基体类型对涂层沉积速率的影响显著,在980℃,BCl3 流量100mL/ min的条件下沉积1h,低碳钢表面的涂层厚度为20μm,而石墨表面的涂层厚度为44~70μm。
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