【摘 要】
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本文主要概述了高纯度SiC粉体、烧结体的制造方法及其制品,同时也涉及到了超高纯度SiC单晶的制造和应用.SiC材料纯度不仅与电、电子的特性密切相关,而且与机械、热、光学的特
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本文主要概述了高纯度SiC粉体、烧结体的制造方法及其制品,同时也涉及到了超高纯度SiC单晶的制造和应用.SiC材料纯度不仅与电、电子的特性密切相关,而且与机械、热、光学的特性密切相关,所以利用其优异的耐热性、强度、硬度、耐磨损性、抗化学药剂性、体积电阻系数等特性,对工业的发展起到了巨大作用,特别是在半导体产业方面,迅速扩大了使用SiC基板的产品市场.
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