【摘 要】
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光伏太阳能PECVD设备是通过石墨舟做为载体进行工艺的,目前存在从炉管工艺完后石墨舟内的碎片掉落到传送带上,将传送带烫坏的问题。如果用手工的方法进行粘结,维修时间过长,
【基金项目】
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2018年山西省重点研发计划项目基金(201803D421097),2019年山西省重点研发计划项目基金(201903D121019)。
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光伏太阳能PECVD设备是通过石墨舟做为载体进行工艺的,目前存在从炉管工艺完后石墨舟内的碎片掉落到传送带上,将传送带烫坏的问题。如果用手工的方法进行粘结,维修时间过长,使用的周期很短。针对此问题,设计并应用了PECVD设备石墨舟传送带粘链装置,解决了石墨舟传送带断裂的问题,提高了传送带的使用寿命,缩短了维修时间,节约了生产成本。
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