新结构型半导体压力传感器及其光纤耦合系统

来源 :东北重型机械学院学报 | 被引量 : 27次 | 上传用户:chair_mao
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本文介绍了一种半导体压阻式压力传感器及其光纤信号藕合系统的原理、性能及差压测试结果。转换电路微功耗和系统高精度是其两个特点。压力信号用脉冲位置调制,並用光纤传输,这不仅使其适用于易燃易爆等特殊工况下的压力信号测量,而且保持了光纤长距离信号传输所具有的高度电绝缘、不受电磁场干扰等特点。传输光纤长度为50m;系统精度优于0.6%FS;示值稳定性误差小于0.2%FS;灵敏度为4mV/KPa。
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