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本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及象限位置对纳米级TiO2、ZnO、C纳米管测量结果的影响。通过分析讨论,提出了提高纳米尺度测量精度的最佳方案。
扫描电镜测量纳米尺度的影响因素
【摘 要】
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本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及
【机 构】
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天津出入境检验检疫局
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2012年3期
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