【摘 要】
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提出用红外干涉仪在长波工作（λ=10.6μm）的优点检测非球面面形。首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,中国兵器工业集团南京北方信息产业集团
【基金项目】
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国家教育部博士点基金资助项目(No.20070288010);兵器预研支撑基金项目(No.62301110116)
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提出用红外干涉仪在长波工作（λ=10.6μm）的优点检测非球面面形。首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程计算出非球面与标准拟合球面之间波像差的理论值,通过比较这两个值,计算出非球面的面形偏差。实验结果表明,使用红外干涉仪测量的非球面与标准拟合球面之间的波像差为8.64μm（PV）,与理论波像差（8.11μm）比较接近,测得非球面面形偏差为1.20μm（PV）。为了验证这一方法的准确性,使用计算全息图（CGH）作为补偿镜在可见光干涉仪上测
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