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采用研磨-机械抛光-化学机械抛光工艺对CdZnTe（211）面进行加工,当表面粗糙度Ra达到0.94 nm时,采用纳米压痕仪对CdZnTe（211）面进行纳米力学性能测量,试验结果表明：弹性模量和硬度随着压力的增大而减小,存在明显的尺寸效应。当针尖离开晶体表面时,黏附现象特别明显。在不同晶向上,弹性模量和硬度存在显著的各向异性。