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本文研究了传感器特性的各种线性化处理方法和对应的非线性误差。曲线逼近拟合方法包括理论拟合、过零旋转拟合、端点连线拟合和端点连线平移拟合；线性回归拟合则介绍了基于最小二乘原理的统计辨识拟合方法。以变间隙武电容传感器为例推导了各种拟合方法的直线方程和非线性误差的计算公式；设计制作了实验系统，给出了实验结果。结果表明，线性回归拟合和过零旋转拟合与端点连线平移拟合的非线性误差相同，但线性回归拟合方法能够处理包括其它确定因素和不确定因素在内的误差，能够给出传感器的精度指标。