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MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响

来源 :郑州大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：bbmaju0813

【摘 要】

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通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄某》⑸湫阅艿挠跋?结果表明,当微波功率为1 500W、反应气压为8.5kPa、甲烷、氮气和氢气的

【作 者】

：

鲁占灵 赵瑞霞 姚宁 杨仕娥 张兵临 

【机 构】

：

郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南建筑职工大学,郑州大学材料物理教育部重点实验室

【出 处】

：

郑州大学学报(工学版)

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

正交设计 碳氮纳米管 场发射 cross design  carbon nitride nanotube  field emission 

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通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄某》⑸湫阅艿挠跋?结果表明,当微波功率为1 500W、反应气压为8.5kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8:20:80时,制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好,其开启电场强度为3.2 V/μm,电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5 mA/cm2.

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