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针对目前DEM格网精度从理论上难于统一量化描述问题,提出一种基于随机过程的格网DEM精度场模型。该模型从随机过程理论入手,借助DEM的统一插值模型,建立DEM两类误差(噪声误差和逼近误差)的统一误差模型,并分析构成DEM误差的各个分量的数学意义。与已有的模型相比,该模型实现了传统DEM两类误差的统一描述,此外,该模型适用任意插值方式生成的格网DEM的精度评价。