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本文研究了使用电阻丝加热的MOCVD反应管中加热器的控制技术,报道了具有通用性的自动限流控制电路工作原理及其调试方法.本技术主要适用于高电阻温度系数加热元件的控制及保护,已成功地应用于MOCVD反应管中高温控制,加热器的使用寿命得到了显著提高.
MOCVD反应管中石墨基座高温控制技术研究
【摘 要】
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本文研究了使用电阻丝加热的MOCVD反应管中加热器的控制技术,报道了具有通用性的自动限流控制电路工作原理及其调试方法.本技术主要适用于高电阻温度系数加热元件的控制及保
【机 构】
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南昌大学材料科学研究所
【出 处】
：
南昌大学学报(工科版)
【发表日期】
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2003年02期
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