【摘 要】
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采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜,采用溶胶-凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT)铁电薄膜.X-射
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采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜,采用溶胶-凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT)铁电薄膜.X-射线测量结果表明在700℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构,谢乐公式估算铁电薄膜的晶粒尺寸为50～80nm.原子力显微镜观察结果显示:薄膜表面平整,均方根粗糙度(RMS)小于5nm.用拉曼光谱测量表明PZT薄膜呈拉曼活性.椭圆偏振光谱仪用来表征薄膜在400～1
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