【摘 要】
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用膜系设计软件设计了λ/4-λ/2的W型的双层减反射薄膜,优化了薄膜的光学常量,并使用溶胶-凝胶技术在玻璃基底上成功镀制了该双层折射率梯度的减反射薄膜.用椭圆偏振光谱仪、
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,中科院上海光学精密机械技术研究所
【基金项目】
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国家高技术863计划(2008AA8041606)资助
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用膜系设计软件设计了λ/4-λ/2的W型的双层减反射薄膜,优化了薄膜的光学常量,并使用溶胶-凝胶技术在玻璃基底上成功镀制了该双层折射率梯度的减反射薄膜.用椭圆偏振光谱仪、紫外-可见-近红外分光光度计、原子力显微镜等分析表征了薄膜的性能.结果表明,镀制了该双层薄膜的玻璃在400nm~800nm波段平均透过率增加了近6%,同时薄膜显示出了极佳的机械强度.
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