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提出了一种计算机自动判读极值点的方法 .利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中 ,实现计算机对规整λ/4膜系膜层厚度的自动监控 .此方法具有监控精度高、稳定性好的特点
光学薄膜厚度监控——极值点判断方法研究
【摘 要】
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提出了一种计算机自动判读极值点的方法 .利用此方法可以在光学薄膜厚度监控过程中 ,实现计算机对规整λ/4膜系膜层厚度的自动监控 .此方法具有监控精度高、稳定性好的特点
【机 构】
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西安工业学院光电科学与工程系,西安光学精密机械研究所
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2001年02期
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