表面处理对蓝宝石衬底的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenzhipengo

【摘要】

：

蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研

【作者】

：

王银珍彭观良刘世良李抒智邹军周圣明徐军

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

蓝宝石衬底表面处理 sapphiresubstratesurface treatment

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蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响.结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好.

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