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多芯片组件(MCM)与单个IC芯片封装和表面贴装(SMT)技术相比,有不可比拟的优点,但制造工艺复杂,成本昂贵,涉及到散热、测试和维修等高难度技术问题。本文简要介绍MCM的起源与市场应用、主要技术,着重介绍有关MCM的主要工艺设备,以供国内着手研制生产MCM关键工艺设备的厂家与科技工作者参考。