【摘 要】
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采用一种限制空间的化学气相沉积方法,在整个SiO2（300 nm）/Si衬底上制备出了大面积、大尺寸、高质量的单层WS2薄膜,薄膜尺寸随生长时间可控,最大尺寸可达500μm。利用光镜、原
【机 构】
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江南大学电子工程系,江南大学理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61404061,11704159);江苏省自然科学青年基金(BK20130115,BK20140168,BK20170167)
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采用一种限制空间的化学气相沉积方法,在整个SiO2（300 nm）/Si衬底上制备出了大面积、大尺寸、高质量的单层WS2薄膜,薄膜尺寸随生长时间可控,最大尺寸可达500μm。利用光镜、原子力显微镜（AFM）、荧光、拉曼以及XPS等手段对所得的单层WS2样品进行了表征。结果表明：限制空间方法可以很好地对两种源粉的比例进行调控,制备的单层WS2薄膜样品以三角形为主导,有着清洁的表面、均匀的荧光和拉曼强度分布,以及较高的单晶质量。限制空间化学气相沉积方法操作简单,可控性与可重复性高,可以为其他过渡金属硫属化合物
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