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Au/ETSSO/p-Si结构的整流特性分析研究
Au/ETSSO/p-Si结构的整流特性分析研究
来源 :甘肃科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fclhp
【摘 要】
:
用射频磁控溅射法制备了超薄富硅氧化硅薄膜(ETSSO),利用Au/ETSSO/p-Si结构的I-V特性曲线对其电流输运机制进行了定性分析,从而解释了具有整流特性的原因。
【作 者】
:
马自军
马书懿
【机 构】
:
甘肃农业大学理学院,西北师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
:
甘肃科技
【发表日期】
:
2008年6期
【关键词】
:
射频磁控溅射
J-V特性
电流输运
【基金项目】
:
甘肃农业大学理学院青年教师科研基金资助.
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用射频磁控溅射法制备了超薄富硅氧化硅薄膜(ETSSO),利用Au/ETSSO/p-Si结构的I-V特性曲线对其电流输运机制进行了定性分析,从而解释了具有整流特性的原因。
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