SiO2湿法腐蚀速率分析和形貌控制

来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ivyliucn

【摘要】

：

制备SiO2腐蚀溶液BOE,对SiO2湿法腐蚀速率和腐蚀形貌进行了剖析.首先分析了光刻工艺对SiO2薄膜纵向和横向腐蚀速率以及侧壁腐蚀形貌的影响,其次对SiO2侧壁腐蚀形貌的形成原理进行分析,并给出了侧壁形貌控制方法.试验结果表明,光刻胶掩模与SiO2膜层之间的附着性随前烘温度和前烘时间的增加而增强,而介质横向腐蚀速率随附着性的增强而下降,同时纵向腐蚀速率保持恒定.分析了造成侧壁陡直性差的原因,并通过对腐蚀原理分析给出了控制SiO2侧壁腐蚀形貌的方法.

【作者】

：

武艳青张奇车相辉于峰涛姚文港董风鑫

【机构】

：

中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051

【出处】

：

电子工艺技术

【发表日期】

：

2021年6期

【关键词】

：

SiO2薄膜 BOE腐蚀液湿法腐蚀腐蚀速率腐蚀形貌

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