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用0．5Li3PO4-0．5Li2SiO3为靶材，用射频磁控溅射的方法在N2气氛中制备了非晶结构的固态电解质LiSiPON薄膜。N和Si的引入提高了Li2O-P2O5体系的离子电导率，在室温时电解质薄膜的离子电导率为4．83×10^-6S／cm。LiSiPON电解质薄膜与Pt的分解压为5．7V左右，是一种很有潜力的应用于全固态薄膜锂离子蓄电池的电解质材料。