【摘 要】
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本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器。该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探测器结
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国电子科技集团第四十四研究所,中国电子科技集团第二十四研究所
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目(2018YFE0181500),科技部资助项目(2018YFB2201203),四川省杰出青年科学基金项目(2020JDJQ0022),四川省科学技术厅资助项目(2019YFG0091),四川省科学技术厅资助项目(2020ZHCG0008)。
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本文报道了一种基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器。该器件结合了黑硅结构宽光谱高吸收的特性,以及PIN光电探测器高量子效率高响应速度的特点,通过在传统硅PIN光电探测器结构的基础上增加黑硅微结构层,在不影响响应速度的条件下,提高了探测器在近红外波段响应特性。并且针对纵向结构垂直入射PIN光电探测器时量子效率与响应速度相矛盾的问题,提出了解决方案。测试结果表明,该器件的量子效率可达80%,峰值波长为940 nm,光响应度达到0.55 A/W,暗电流降至700 pA,响应时间为200 ns。
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