【摘 要】
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在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频性能。偏转场分布的均匀性、场强大小和响应速度是影响偏转器性能的关键,而磁偏转器的结构和材料是决定偏转场分布均匀性、场强大小和响应速度的主要因素。本文首先利用磁标位法对多极偏转器的场分布进行了理论分析,表明四极、八极和十二极偏转器中十二极结构更适用于电子束大范围的偏转;之后,利用COMSOL Multiphysics软件对不同磁极材料下的偏转器分别进行了稳态和高频性能的仿真研究;最后,对
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院大学,北京航空航天大学
【基金项目】
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国家重点研发计划(No.2018YFB1105202),先进封装X射线3D检测技术创新交叉团队项目(No.JCTD-2019-02),高精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制项目(No.2020B0101320002).
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在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频性能。偏转场分布的均匀性、场强大小和响应速度是影响偏转器性能的关键,而磁偏转器的结构和材料是决定偏转场分布均匀性、场强大小和响应速度的主要因素。本文首先利用磁标位法对多极偏转器的场分布进行了理论分析,表明四极、八极和十二极偏转器中十二极结构更适用于电子束大范围的偏转;之后,利用COMSOL Multiphysics软件对不同磁极材料下的偏转器分别进行了稳态和高频性能的仿真研究;最后,对
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