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期刊论文
SOI横向双晶体管结构研究
SOI横向双晶体管结构研究
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengliming33645
【摘 要】
:
本文首先概括地介绍了体硅,SOI纵向双极晶体管和横向双极晶体管的各自特点,并重要地阐述了SOI横向双极晶体管的发展;其次,对各种SOI横向双极晶体管的结构与性能分析研究;最后,我们认为SOI横向双
【作 者】
:
刘新宇
沈文正
【机 构】
:
西安微电子技术研究所
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
SOI
双极晶体管
晶体管
BICMOS
SOI lateral bipolar
Base top contact
Base side contact
B
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本文首先概括地介绍了体硅,SOI纵向双极晶体管和横向双极晶体管的各自特点,并重要地阐述了SOI横向双极晶体管的发展;其次,对各种SOI横向双极晶体管的结构与性能分析研究;最后,我们认为SOI横向双极晶体管是一种比较理想的双极器件,不失为SOI/BiCMOS的理想选择。
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