SOI横向双晶体管结构研究

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本文首先概括地介绍了体硅,SOI纵向双极晶体管和横向双极晶体管的各自特点,并重要地阐述了SOI横向双极晶体管的发展;其次,对各种SOI横向双极晶体管的结构与性能分析研究;最后,我们认为SOI横向双极晶体管是一种比较理想的双极器件,不失为SOI/BiCMOS的理想选择。
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