PZT/SiO_2/Si界面的XPS分析

来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:margaretclouis
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采用SOL-GEL工艺在SiO2/Si衬底上制备了铁电薄膜,对PZT/SiO2/Si结构进行了XPS分析,结果表明,在PZT铁电薄膜和硅衬底之间加SiO2使F/S界面得到了改善. Ferroelectric thin films were prepared on SiO2 / Si substrates by using SOL-GEL process. XPS analysis of PZT / SiO2 / Si structures showed that F / S The interface has been improved.
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