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介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
MEMS压阻式加速度传感器的研究进展
【摘 要】
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介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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采矿技术
【发表日期】
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2008年04期
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