【摘 要】
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西门子法生产多晶硅过程中副产大量的四氯化硅。近几年来,企业为了降低成本、采用冷氢化工艺将四氯化硅转为三氯氢硅循环再利用。本文重点讲叙冷氢化应用技术研究与探讨。
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(865计划)(2012AA06A116)
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西门子法生产多晶硅过程中副产大量的四氯化硅。近几年来,企业为了降低成本、采用冷氢化工艺将四氯化硅转为三氯氢硅循环再利用。本文重点讲叙冷氢化应用技术研究与探讨。
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