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用光栅、霍尔片、同名磁极、数显游标卡尺和改装后的迈克尔逊干涉仪组合成光电放大位移综合测微仪。在此仪器上用光栅放大位移法、霍尔式微位移传感器法和干涉条纹放大位移法测量微小长度。
基于改装的迈克尔逊干涉仪测量微小长度的三种方法
【摘 要】
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用光栅、霍尔片、同名磁极、数显游标卡尺和改装后的迈克尔逊干涉仪组合成光电放大位移综合测微仪。在此仪器上用光栅放大位移法、霍尔式微位移传感器法和干涉条纹放大位移法
【机 构】
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江汉大学物理与信息工程学院
【出 处】
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江汉大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年6期
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