光电放大位移综合测微仪相关硕士博士期刊学术论文

用光栅、霍尔片、同名磁极、数显游标卡尺和改装后的迈克尔逊干涉仪组合成光电放大位移综合测微仪。在此仪器上用光栅放大位移法、......