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薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的优点,具有较大的应用价值。
薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
【摘 要】
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薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真
【机 构】
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广西师范大学电子工程学院
【出 处】
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现代电子技术
【发表日期】
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2010年17期
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