反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进

来源 :水处理技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gmtt123

【摘要】

：

在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透+N2配合真空膜脱气+三级混床的工艺属当今最新开发的工艺,在大型系统中应用很少,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进,

【作者】

：

胡伟林

【机构】

：

华越微电子有限公司

【出处】

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水处理技术

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

反渗透真空膜脱气混床实用

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在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透+N2配合真空膜脱气+三级混床的工艺属当今最新开发的工艺,在大型系统中应用很少,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行,解决了工艺流程中的缺陷和不足,并且很好地控制了运行成本.

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