误差补偿压电微位移作动器动态特性分析

来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cherish_zww
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分析了镗削主轴回转误差补偿压电微位移作动器(Piezoelectric Micro Displacement Actuator, PMDA)动态特性中的机械特性、相位滞后特性和迟滞现象.从机械系统的角度分析了压电微位移作动器静动态特性的影响因素;得到了相位滞后的3个主要影响因素;基于非线性迟滞现象的本质分析,提出了非线性迟滞现象的一种广义模型.最后给出了压电微位移作动器在镗削主轴回转误差补偿中的应用,并且获得了良好效果.
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