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压电微位移行动器相关论文
误差补偿压电微位移作动器动态特性分析
分析了镗削主轴回转误差补偿压电微位移作动器(Piezoelectric Micro Displacement Actuator, PMDA)动态特性中的机械特性、相位滞......
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压电微位移行动器
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相位滞后
非线性迟滞
误差补偿
镗削加工
镗削主轴
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