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介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了该技术的基本原理，全面介绍发国外在该领域的研究现状，并对影响纳米影响的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。
用于纳米测量的扫描X射线干涉技术
【摘 要】
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介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了该技术的基本原理，全面介绍发国外在该领域的研究现状，并对影响纳米影响的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。
【机 构】
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清华大学测试技术与仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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