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以二水合醋酸锌为原材料，采用溶胶-凝胶浸涂法在钠钙玻璃基片上制备了具有C轴择优取向的ZnO：Al薄膜，考察了铝掺杂浓度对薄膜结晶性与微观组织结构的影响。结果表明：铝掺杂使ZnO薄膜（002）晶面的2θ向高角度方向偏移，C轴择优取向性增强，晶粒变小（15～20nm）。当铝掺杂浓度（摩尔分数）为1％-2％时，微观组织结构变得致密均匀；当铝掺杂浓度大于2％时，发生颗粒团聚现象；在高掺杂浓度下（5％和8％），出现大尺寸片状ZnO：Al晶粒异常长大，生长出特殊形貌的薄膜。