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对离子源进行合理设计，使离子源中的Ar离子溅射产生Fe离子，利用裹挟Fe离子的Ar离子在制备类金刚石薄膜的过程中进行间歇性注入掺杂，制备多层类金刚石薄膜。这种多层类金刚石薄膜和单层类金刚石薄膜相比，应力从4．5GPa降至3．9GPa，摩擦系数从0．14降至0．1附近，同时保持硬度值不变。
利用离子源掺铁制备多层类金刚石膜
【摘 要】
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对离子源进行合理设计，使离子源中的Ar离子溅射产生Fe离子，利用裹挟Fe离子的Ar离子在制备类金刚石薄膜的过程中进行间歇性注入掺杂，制备多层类金刚石薄膜。这种多层类金刚石薄膜
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2008年5期
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