【摘 要】
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离子束加工过程中,由于热能的传递会导致光学元件内部产生热应力和热变形,影响加工精度,严重时甚至会导致光学元件的损坏。本文提出了一种新型的主、三镜一体化离子束加工方
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
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离子束加工过程中,由于热能的传递会导致光学元件内部产生热应力和热变形,影响加工精度,严重时甚至会导致光学元件的损坏。本文提出了一种新型的主、三镜一体化离子束加工方式。在一体化加工的基础上利用UG/TMG有限元分析软件,对无散热和铜带散热两种加工状态下的光学元件表面温度场的分布进行了仿真分析。对比结果数据可以看出铜带散热可以使加工过程中最高温度降低10℃。最后通过实际加工过程,对热分析进行了验证。
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