【摘 要】
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为了满足高性能光电器件对单层MoS_2的需要,文中采用扫描电镜和拉曼光谱,研究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长MoS_2形貌、尺寸、结
【机 构】
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西安工业大学电子信息工程学院,西北工业大学机电学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(51671151)
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为了满足高性能光电器件对单层MoS_2的需要,文中采用扫描电镜和拉曼光谱,研究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长MoS_2形貌、尺寸、结构和层数的影响.研究结果表明：在反应物质量比和反应温度一样的条件下,沉积产物的种类主要受氩气流速的影响,氩气流速为30sccm时,沉积产物为菱形MoS_2与MoO_2的混合物;氩气流速为50,70sccm时,沉积产物为单层三角形MoS_2.MoS_2的结构主要受保温生长时间的影响,保温生长时间为15,30min时,沉积产物为单层三角形M
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