【摘 要】
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科技电子材料的制程精密度高,超硅半导体项目具有极高的纯度要求任何轻微的震动导致的杂质沾污,均可引起纯度的不达标。除工艺机台自身的微震设计外,针对本工程与施工相关的
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科技电子材料的制程精密度高,超硅半导体项目具有极高的纯度要求任何轻微的震动导致的杂质沾污,均可引起纯度的不达标。除工艺机台自身的微震设计外,针对本工程与施工相关的结构、设备、管道、洁净装修等方面对微震的控制进行阐述,为超大面积洁净厂房微震控制提出可靠的技术方案,从而有效地保证了工艺设备对微震控制的质量要求。
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