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用ANSYS的三维点点接触单元，在刚性转子假设条件下，对旋转型行波超声电机接触界面的三维接触状态进行有限元分析。根据行波的特点，给出了时间域、空间域两种简化有限元模型。从有限元分析结果中得到了接触界面的动力输出特性，结果表明两种方法是一致的。空间域模型可以将预压力作为给定条件直接施加，这便于分析预压力对接触界面输出性能的影响；时间域模型则可用于分析接触界面的粘滑现象。空间域模型求解耗费的机时较少，更可以将此模型融入超声电机整机的优化设计。