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在微波加热原理的基础上，根据具体的实验要求，介绍了一套自制的多模谐振腔微波高温加热真空系统。在该真空系统上进行了温度场测量；碳毡和碳化硅的微波加热试验；碳毡的气相致密化与碳化钨陶瓷的烧结试验。结果表明：该微波加热系统电场主要聚焦在中心区域，而且均匀分布；在气氛保护下，碳化硅的加热温度在20min内达到1700℃，碳化钨的烧结致密度达到96％以上，在90小时内，碳毡的密度可达1.70g／cm^3。