间隙对涡轮分子泵抽气特性影响的蒙特卡罗模拟

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本文建立了包括间隙泄漏在内的涡轮叶片三维分子动力学抽气模型.运用MonteCarlo方法计算单叶列的抽气性能,研究了涡轮分子泵中运动叶列顶端与泵壁间的间隙泄漏效果.计算结果展示出间隙相对叶列长度的大小(间隙比)对压缩比有很大影响,尤其是在高的叶列运动速度和重分子量气体下抽气.间隙效果对抽速影响较小. In this paper, a three-dimensional molecular dynamics extraction model of turbine blades including gap leakage has been established. The MonteCarlo method was used to calculate the suction performance of single-leaf row. The effect of clearance leakage between the top of the moving blade row and the pump wall in turbo-molecular pump was studied. The results show that the size of the gap relative to the leaf length (gap ratio) greatly affects the compression ratio, especially with high leaf column velocity and heavy molecular weight gas. Gap effect on the pumping speed less affected.
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