微型器件的自装配技术

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【摘要】

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自组装技术起源于生物化学领域.20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景.本文阐述了自

【作者】

：

邓凯夏善红

【机构】

：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

微型器件自装配技术微机电系统毛细作用重力亲水力 self-assembly MEMS capillary force

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自组装技术起源于生物化学领域.20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景.本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用.

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