Interracial Bonding Strength of TiN Film Coated on Si3N4 Ceramic Substrate

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qzhair

【摘要】

：

在生气的节的 TiN/Si3N4 的部分与扫描电的显微镜(SEM ) 被观察，并且剩余在 Si3N4 的表面上涂的锡强调陶器我们有 X 光检查衍射(XRD ) 的 remeasured。听电影的坚硬被测量，并且

【作者】

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Dejun KONG Yongkang ZHANG Zhig

【机构】

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JiangsuKeyLaboratoryofOil＆：GasStorageandTransportationTechnology,DepartmentofMaterialsScienceandEngi

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

锡薄膜焊连接强度 X光线衍射残差应力陶瓷基底 TiN film Bonding strength X-ray diffraction （XRD） Resi

【基金项目】

：

AcknowledgementsThis work was supported by the Foundation of Jiangsu Key Laboratory of 0il ＆ Gas Storage and Transportation Technology, China （Grant No. CY0501）, the Key Program of Changzhou （No. CE20

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在生气的节的 TiN/Si3N4 的部分与扫描电的显微镜(SEM ) 被观察，并且剩余在 Si3N4 的表面上涂的锡强调陶器我们有 X 光检查衍射(XRD ) 的 remeasured。听电影的坚硬被测量，并且结合在 Si3N4 底层上涂的听电影的力量被抓测量方法。剩余应力的形成的机制和在这部电影的结合的接口的失败机制被分析，并且听电影的粘附机制被调查当压缩应力，和听电影与易碎的骨折顺利被代表，锡的剩余压力拍摄的 preliminarily.The 结果表演都被表现，它仔细与 Si3N4 底层被结合。听电

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