【摘 要】
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提出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路，将物体偏转一微小角度（等效为物面与参考面间形成空气楔）产生等厚干涉，可在物体的表面引入包含物体
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院,济南市铁道职业技术学院电气工程系
【基金项目】
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山东省科技攻关项目(2007GG20004002)
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提出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路，将物体偏转一微小角度（等效为物面与参考面间形成空气楔）产生等厚干涉，可在物体的表面引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。用CCD采集该载波条纹图，利用傅里叶变换法可解调出物体高度的位相信息，从而实现物体的形貌测量。介绍了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的原理，并进行了实物测量，给出了实验结果。由于该方法采用散斑干涉方法测量物体形貌，所以具有灵敏度高的优点。
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